Page 755 Gaceta 717
P. 755
Se adjunta publicación PCT/CN2020/115851
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Comprobante de tasa de Mantenimiento
Memorias técnicas
Reivindicaciones
Dibujos
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Química de Vapor por Plasma (PCVD), que comprende:
5
un tubo de revestimiento (2);
un generador de microondas (4), que está revestido en el exterior del tubo de revestimiento
(2), y se configura para moverse alternativamente a lo largo de una dirección axial del tubo
de revestimiento (2);
un horno de mantenimiento (3), que está revestido en el exterior del generador de microondas
10
(4), y una sonda de medición de temperatura está dispuesta en el mismo y se configura para
medir una temperatura establecida en cada posición en tiempo real en el horno de
mantenimiento (3) durante un movimiento axial del generador de microondas (4) a largo del
tubo de revestimiento (2);
en donde el horno de mantenimiento (3) está provisto sucesivamente de un área de extremo
15
del gas (20), un área de extremo intermedia (21) y un área de extremo de bomba (22) a lo
largo de la dirección axial del tubo de revestimiento (2);
una potencia de salida preestablecida del generador de microondas (4) en cada área es la
misma;
el sistema comprende además una unidad de control PLC (8), que está conectada al horno de
20
mantenimiento (3) y al generador de microondas (4), y se configura para:
durante el movimiento del generador de microondas (4) a lo largo de la dirección axial del
tubo de revestimiento (2) desde el área de extremo del gas (20) hasta el área de extremo de la
bomba (22), de acuerdo con la temperatura establecida en la posición retroalimentada en
tiempo real por la sonda de medición de temperatura, determinar una posición final del área
25
de extremo del gas (20) o una posición inicial del área de extremo intermedia (21), y la
posición final del área de extremo intermedia (21) o la posición inicial del área de extremo de
la bomba (22), cambiar la potencia actual de salida del generador de microondas (4) en la
posición inicial del área de extremo del gas (20) y la posición inicial del área de extremo de
la bomba (22), y mantener la potencia real modificada de salida constante en el área de
30
extremo del gas (20) y el área de extremo de la bomba (22).
REIVINDICACIONES
1. Un sistema para mejorar la uniformidad de la deposición de gas de materia prima de Deposición
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Química de Vapor por Plasma (PCVD), que comprende:
5
un tubo de revestimiento (2);
un generador de microondas (4), que está revestido en el exterior del tubo de revestimiento
(2), y se configura para moverse alternativamente a lo largo de una dirección axial del tubo
de revestimiento (2);
un horno de mantenimiento (3), que está revestido en el exterior del generador de microondas
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(4), y una sonda de medición de temperatura está dispuesta en el mismo y se configura para
medir una temperatura establecida en cada posición en tiempo real en el horno de
mantenimiento (3) durante un movimiento axial del generador de microondas (4) a largo del
tubo de revestimiento (2);
en donde el horno de mantenimiento (3) está provisto sucesivamente de un área de extremo
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del gas (20), un área de extremo intermedia (21) y un área de extremo de bomba (22) a lo
largo de la dirección axial del tubo de revestimiento (2);
una potencia de salida preestablecida del generador de microondas (4) en cada área es la
misma;
el sistema comprende además una unidad de control PLC (8), que está conectada al horno de
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mantenimiento (3) y al generador de microondas (4), y se configura para:
durante el movimiento del generador de microondas (4) a lo largo de la dirección axial del
tubo de revestimiento (2) desde el área de extremo del gas (20) hasta el área de extremo de la
bomba (22), de acuerdo con la temperatura establecida en la posición retroalimentada en
tiempo real por la sonda de medición de temperatura, determinar una posición final del área
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de extremo del gas (20) o una posición inicial del área de extremo intermedia (21), y la
posición final del área de extremo intermedia (21) o la posición inicial del área de extremo de
la bomba (22), cambiar la potencia actual de salida del generador de microondas (4) en la
posición inicial del área de extremo del gas (20) y la posición inicial del área de extremo de
la bomba (22), y mantener la potencia real modificada de salida constante en el área de
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extremo del gas (20) y el área de extremo de la bomba (22).
REIVINDICACIONES
1. Un sistema para mejorar la uniformidad de la deposición de gas de materia prima de Deposición
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